廣州潽拓光電科技有限公司——愛(ài)德華磁懸浮渦輪泵設備保養
Edwards在真空和減排方面的仍穩居全*地位。產(chǎn)品包括運行速度高達60,000 RPM (每秒鐘竟然達到1,000轉)的磁懸浮渦輪分子泵;磁懸浮分子泵具有無(wú)油,低振動(dòng),免維護及高穩定性等特點(diǎn)。
Edwards真空泵是上暢*的真空泵之一, 用于半導體、平板顯示器、LED和太陽(yáng)能電池制造, 及工業(yè)、制藥、化工、加工、玻璃鍍膜、食品包裝等行業(yè)。
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Edwards STPA1603C英國愛(ài)德華磁懸浮分子泵維修
小巧而強大的Edwards STPA1603C渦輪分子泵采用Edwards先進(jìn)的轉子技術(shù)進(jìn)行設計。它提供極高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,滿(mǎn)足zui新一代半導體制程的需要。其半機架的控制器和緊湊型設計可節省可觀(guān)的空間,而其先進(jìn)的沉積減少系統提高了可靠性和性能。STPA1603C已經(jīng)在zui新的200mm刻蝕工具上得到了證明,也能夠滿(mǎn)足新一代300mm氧化物腐蝕制程的需要。
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渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快,耐各種射線(xiàn)的照射,耐大氣沖擊,無(wú)儲氣和解吸作用,無(wú)油蒸氣污染或污染*少,可獲得潔凈的超高真空
nEXT300D 是一種是混合軸承復合分子泵。它隨附 ISO100 或 CF100 入口法蘭,具備 300ls-1 的 N2 抽速。
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